2016/03/03 / 最終更新日時 : 2016/03/03 ALD_Japan 未分類 ALDナノコーティングサービス会社 PneumatiCoat Technologies ナノパーティクルへのコーティングサービス会社。100トン単位で、唯一の量産が可能な会社とうたう。例えばLiイオンバッテリー用の粒子にALDで2nmなどの極薄Al2O3膜 […]
2016/02/25 / 最終更新日時 : 2016/02/25 ALD_Japan 未分類 記事情報「グラフェン超える2D材料群、“ポストSi”に名乗り」 日経エレクトロニクス 2016年3月号(要登録) 「グラフェン超える2D材料群、“ポストSi”に名乗り 超高速論理回路や大面積受発光素子が実現可能に」 次世代材料グラフェンが注目を集めているけれど、バンドギャップがない […]
2016/02/11 / 最終更新日時 : 2016/02/11 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 日時: 2016年3月18日(金曜) 10:30〜16:30 場所: 東京 大田区産業プラザ 講師: 東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 専攻長 教授 霜垣 幸浩先生 詳細情報: http://www.sc […]
2016/01/28 / 最終更新日時 : 2016/01/29 ALD_Japan 未分類 Nanotech2016 ALD関連講演 2016年1月28日 下記の講演発表がありました。 ① Picosun社 300mm ウエハー用量産機、クラスターツール(反応室が5ユニットなど付き、その中心ニ搬送ロボットがウエハーを各室へ運ぶ又は取り出す装置群のこと […]
2015/12/22 / 最終更新日時 : 2015/12/22 ALD_Japan 未分類 SEMICON ジャパン2015 – ALD関連情報 ① CKD:高温用・高耐久ガスバルブ、AGD21R-Aシリーズ、150-200℃対応、3000万回開閉使用に堪えられるバルブ ② キッツエスシーティー:同じく高温・高耐久ガスバルブを開発品の発表。 ③ 大成技研: ALD […]
2015/09/10 / 最終更新日時 : 2015/09/10 ALD_Japan 未分類 TMAの自然発火の様子 YouTubeで見つけたTMAが燃える様子です。 https://www.youtube.com/watch?v=RfeaffoWajc
2015/07/22 / 最終更新日時 : 2015/07/22 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介 3D Cool ALD 日時:9月17日木曜13:00〜16:30 場所:東京・品川区大井町 きゅりあん 主催:サイエンス&テクノロジー 詳細:こちらをクリック下さい。 山形大学の廣瀬文彦先生による”3D Cool ALD”(室温3 […]
2015/07/13 / 最終更新日時 : 2015/07/13 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介 光学用の薄膜 日時:7月23日 場所:ハイライフプラザ板橋 主催:光設計研究グループ 昭和真空社様が低温プラズマALDに関する発表をされるようです。
2015/06/23 / 最終更新日時 : 2015/06/23 ALD_Japan 未分類 ALD2015 の見どころ ポスターセッションでの発表は記載しませんでしたが、Previewとして口頭発表の議題を材料やアプリケーションなどから列挙してみました。なぜ「?』マークだらけのこんな作業をしたかというと、ALDの代表的な酸化膜や金属膜はも […]