2017/08/19 / 最終更新日時 : 2017/08/19 ALD_Japan 未分類 真空学会・表面科学会の合同シンポジウム「原子層堆積法(ALD)・原子層エッチング法(ALE)の最前線」 2017年真空・表面科学合同講演会 @横浜市立大学 金沢八景キャンパス(8月18日(金曜)) の合同シンポジウムのタイトルをメモしておきます。 「原子層堆積法(ALD)・原子層エッチング法(ALE)の最前線」 ①霜垣幸浩 […]
2017/08/17 / 最終更新日時 : 2017/08/17 ALD_Japan 未分類 ALD用分析装置 – Hiden Analytical (英) 英国 Hiden Analytical 社がALD用の分析機器として以下のような提案をしております。 1)残留ガス分析 HMT 2)プラズマALDの反応(イオン、ニュートラル、ラジカル)解析 EQP 3)組成、コンタミ、 […]
2017/07/19 / 最終更新日時 : 2017/07/19 ALD_Japan 未分類 Dr. Roy Gordon Harvard大学の Dr. Roy Gordon先生 東北大学の熊野先生と談笑されている時に写真を撮らせて頂きました。 (先生方のご快諾を頂き、掲載いたします。)
2017/07/19 / 最終更新日時 : 2017/07/19 ALD_Japan 未分類 ALD2017 (ALDALE2017)閉会 今年のALD学会が生協のうちに閉会しました。 参加者:>900人 発表数:404件(うち61件がALE関連) 参加者の64%が産業界。 発表のエリア別比較 所感 人数が増えて、個別のセッションが4つに分かれてしまい、全部 […]
2017/06/27 / 最終更新日時 : 2017/06/27 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALDプロセス(原子層堆積法)による薄膜合成」 日時: 2017年7月11日(火曜) 12:30〜16:30 場所:大田区産業プラザ(PiO)6階C会議室(最寄駅:京急蒲田駅) 講師: 山形大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学) 廣瀬 文彦 先生 http:// […]
2017/06/23 / 最終更新日時 : 2017/06/23 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)、ALE(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向」 東京大学霜垣先生よりご案内がございました。 日時: 2017年6月26日(月曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・新宿文化センター 4F 第1会議室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 […]
2017/06/09 / 最終更新日時 : 2017/06/09 ALD_Japan 未分類 分子膜成膜装置 – MLD SmartSensing2017展(2017年6月7日〜9日、@東京ビッグサイト)で、 SPPテクノロジーズ社が分子膜成膜装置”MVDシリーズ”を紹介されました。 http://www.spp-technologies. […]
2017/06/02 / 最終更新日時 : 2017/07/15 ALD_Japan 未分類 ALD2017 プログラム (作成途中です) 土曜の夜のポスターセッション ALEポスターセッション *SiNの超高選択比で方向性を調整可能な擬似的ALE(水素プラズマ/HF) *ガスクラスターイオン放射(GCIB)を使ったALE(兵庫大学の豊田紀 […]
2017/05/24 / 最終更新日時 : 2017/05/24 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法),ALEt(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向」 日時: 2017年6月26日(月曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・江東区産業会館 第1会議室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏 https://www.rdsc.co.j […]
2017/04/05 / 最終更新日時 : 2017/04/05 ALD_Japan 未分類 山形大学廣瀬文彦先生のパウダー研究の例 2017年2月に行われたNanotech2017展で廣瀬先生が出展された応用ー蛍光体パウダーへのALD利用の例。