2017/02/05 / 最終更新日時 : 2017/02/05 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 日時: 2017年3月30日(木曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第2講習室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏 http://www.s […]
2017/02/04 / 最終更新日時 : 2017/02/04 ALD_Japan 未分類 コアシェルナノ粒子コーティング(室温) 山形大学廣瀬文彦先生のチームの論文がJVSTA (Journal of Vacuum Science & Technology)に取り上げられました。 概要 – 金のナノパーティクル(粒径:100nm […]
2016/12/26 / 最終更新日時 : 2016/12/26 ALD_Japan 未分類 Lam Research – video しばらくぶりにYouTubeを散策していたら、Lam Research社の美しいビデオを見つけましたので記載します。 https://www.youtube.com/watch?v=4G8wXQGEBrA このビデオでは […]
2016/12/18 / 最終更新日時 : 2016/12/19 ALD_Japan 未分類 Semicon ジャパン2016 セミコンジャパン2016、12月14日から16日東京ビッグサイトで開催されました。ALD関連の展示について、記載します。(下記は私見であり、全てのブースを確認したわけでもありません。) A. 装置 ① JSWアフィティ社 […]
2016/07/14 / 最終更新日時 : 2016/07/14 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その4 パウダーコーティングで最後にご紹介したいのが、ダイナミックフロー方式です(勝手に命名しております)。この技術はオランダの大学Delft University of Technology Dr. Ir. J. Ruud v […]
2016/07/13 / 最終更新日時 : 2016/07/14 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その3 Fluidization方式とドラム回転式がALDでのパウダー粒子へのコーティングとしては研究されてきましたが、別な方法も探索されています。2015年の国際学会「ALD2015」セッション「Manufacturing」で […]
2016/07/12 / 最終更新日時 : 2016/07/12 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その2 今回はドラム回転方式のパウダーコーティングを解説します。PVDやCVDでも使用されているやり方で、回転する容器の中に入っているパウダーにプリカーサーのガスが投入されて、膜をつけていく方法です。 以下がその構成になります。 […]
2016/07/11 / 最終更新日時 : 2016/07/13 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その1 今週は4回に渡って、ALDを使ってパウダーやナノ粒子への基本的コーティング技術を解説します。(注: パウダー用の実装置にほとんど携わっていないため、不適切な記述があるかもしれません。その際はご容赦ください。) 燃料電池の […]
2016/06/16 / 最終更新日時 : 2016/06/16 ALD_Japan 未分類 Siベース太陽電池の新技術 – PERC シリコンベース太陽電池用の新技術 PERC (Passivated Emitter Rear Contact)でALDによるAl2O3 の裏面パッシベーション成膜が利用されています。 産総研のDr. Supawan JO […]
2016/05/23 / 最終更新日時 : 2016/05/23 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」 日時: 2016年6月15日(水曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 研修室 講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏 http://www.science-t. […]