営業品目
Anric Technologies社(米国)製
① 原子層堆積(ALD)装置  Model: AT-410(4インチ用)とAT-610(6インチ用)

1. コンパクト(卓上型)
2. 基板:最大4インチ(100mm)と6インチ(150mm)
3. 熱式(ホットウォール式、最高320℃)
4. 豊富なプロセス開発の知見を盛り込んだプロセスノウハウ(プリカーサー投入量の精密制御)
5. 標準レシピ(Al2O3, TiO2, HfO2, Pt, Ru etc)+カスタムレシピ作成モード
Al2O3/TiO2/A2O3/HfOx…などマルチレイヤー対応可能
6. 豊富なレシピと将来に渡って広がるレシピのバリエーション (新規材料開発のご相談も承っております。)
Anric Technologies サイト

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開発者の紹介
Philippe de Rouffignac, Ph.D は現在Harvard University, Department of Chemistry (Dr. Roy Gordon)、及びCenter for Nanoscale Systems でCVD/ALD のプリカーサー開発などの開発を担当。
学生時代もDr. Gordon の元で5台のALDを手作りし、メーカー勤務時代もALD開発に従事。
カタログ: Anric ALD AT-410/610
実績: Harvard大学、Northwest大学、Cambridge大学(イギリス)、Rice大学、British-Columbia大学(カナダ)、ENS-Paris (フランス, 高等師範学校)、物資・材料研究機構(2台)、早稲田大学など(企業も多数導入済み)

CN-1社(韓国)製
② 原子層堆積(ALD)装置  Model: Atomic Premium
1. 量産およびパイロットライン用装置、バッチ式ALDもございます。
2. 基板:6, 8 & 12インチ (その他も対応可能。お問合せください。)
3. プラズマ&熱式(最高500℃(バッチ式:最高800℃))
4. 販売実績:150台(2019年1月時点)
CN-1社サイト


簡易カタログ Atomicシリーズ

Delft IMP 社(オランダ)製
③粉体用ALD装置  IMPALA シリーズ

Pneumatic Transport方式(ガス輸送方式(連続運転の量産装置)
パイロットライン:毎時10kgの粉体処理量
カタログ: IMPALAシリーズ

Colnatec社(米国)製
④ QCM (Quartz Crystal Microbalance, 水晶振動子マイクロバランス) 膜厚測定&制御装置と水晶振動子

1. 対応装置:ALD, CVD, 蒸着装置(光学薄膜やOLED用途)
2. シャッターの開閉にも周波数変動が起きないRCカット水晶振動子
3. 従来品よりも高分解能(0.001Hz) => より高精度に膜厚測定が可能
4. 従来にない柔軟性。温度を測定しながら20〜500℃の膜厚測定が可能
5. 廉価
QCM and quartz 日本語カタログ V.1.1

Increasing the Accuracy of Quartz Crystal Thin Film Sensors in Production Processe1


⑤Au プリカーサー
Dr. Seán Barry(Charleton 大学(カナダ))が開発した金のプリカーサー
カタログ: Auプリカーサー

⑥プリカーサー用ステンレス容器
お問い合わせください。
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