セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」
6月に続き、再びドライエッチング技術のセミナー講演で、ALE = Atomic Layer Etchingが解説されます。
日時: 2016年10月5日(水曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 第2特別講習室
講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏
6月に続き、再びドライエッチング技術のセミナー講演で、ALE = Atomic Layer Etchingが解説されます。
日時: 2016年10月5日(水曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 第2特別講習室
講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏