フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をしておりましたが、昨年日本法人を設立されました。先日行われた「レンズ・製造展」（OPIE ’22展併設）に出展しており、特筆すべきは世界最大のチャンバーとなる型式 P1500です。基板を搭載する空間が1300 x 2400 x 750mm、（チャンバーの横幅 1700mm）、装置のサイズは6195 x 2480 x 2600mmです。（大きいですね！）おそらく巨大な望遠鏡などに使用するレンズへの成膜に使うと思われます。サイトを見る限り、対象アプリケーションは光学薄膜、ディスプレイ、化合物半導体のようです。
日本法人の連絡先が英語表記で少し分かりにくいので、電話番号だけ記しておきます。TEL：045-285-9438
