CVD反応分科会主催にて、粉体ALDとその応用で注目されているLiイオン電池分野などに関してオンラインシンポジウムが6月8日（火）に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。
プログラム
9:25～9:30 開会挨拶
9:30～10:10 「ALDx and PALD –Equipment and Process for Atomic Layer Deposition on Powders, Wafers, and Objects」（英語）Staci Moulton氏（Forge Nano社）
10:10～10:50 「Better Batteries: PALD on Anode and Cathode Powders at 6,000 mT/yr and <$0.30/kg」（英語）Daniel Higgs氏（Forge Nano社）
10:50～11:30 「固体電池における粉体表面層の重要性」高田 和典 氏（物質・材料研究機構 エネルギー・環境材料研究拠点）
11:30～12:10 「Thermal-ALDを用いた窒化リン酸リチウム・固体電解質膜の均一形成」柴田 聡 氏（パナソニック株式会社）
12:10～13:00 休憩
13:00～14:00 「基調講演 室温原子層堆積法の開発と微粒子コーティングへの応用」廣瀬 文彦 氏（山形大学 大学院理工学研究科）
14:00～14:40 「Powder Atomic Layer Deposition: A Materials Supplier Perspective」（英語）Christian Dussarrat氏（Air Liquide社）
14:40～14:45 閉会挨拶
シンポジウムオーガナイザー
下山 裕介氏（東京工業大学 物質理工学院）
野田 優氏（早稲田大学 理工学術院）
百瀬 健氏（東京大学 工学系研究科）
百瀬 渉（ALDジャパン）
