2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How 産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD 産業技術総合研究所(ナノプロセッシング施設=NPF)が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合 […]
2021/05/25 / 最終更新日時 : 2021/06/05 ALD_Japan セミナー シンポジウム紹介「粉体ALDと電池材料」 CVD反応分科会主催にて、粉体ALDとその応用で注目されているLiイオン電池分野などに関してオンラインシンポジウムが6月8日(火)に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム9:25~9:30 開会挨拶9 […]
2018/12/18 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan その他 セミコンジャパン2018 12月12日〜14日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。ALDに関して新規性のあることを記載します。 1)Picosum 社メディカル用途にB-300B PicoMEDICALtm と B-1000 PicoM […]
2018/10/05 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan その他 ALD海外動向のサイト ALDに関して、世界の動向を様々に伝えているJonas Sundqvist氏と知り合いになりました。 BALD Engineering というサイトで、日本からも最近はアクセス数が増えているようです。 http://ww […]