2023/06/23 / 最終更新日時 : 2023/06/23 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積法)技術の基礎・入門と応用展開」 奈良先端科学技術大学院大学の教授浦岡行治氏がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。 日時: 2023年6月28日(水曜) 10:00〜16:00 https://www.science-t.com/se […]
2023/06/20 / 最終更新日時 : 2023/06/20 ALD_Japan 半導体 ALDを使用した先端半導体デバイス向けナノシート酸化物半導体トランジスタの開発 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生と東京大学生産技術研究所の小林正治先生によりIn2O3とGa2O3を原子層堆積したマルチレイヤーで良好な酸化物半導体を見つけられたとのことです。これは先端デバイスでのGate Al […]