2014/04/22 / 最終更新日時 : 2014/04/22 ALD_Japan 未分類 はじめに。 半導体や液晶などの製膜技術として、PVD (Physical Vapor Deposition, 物理的気相成膜)やCVD (Chemical Vapor Deposition, 化学的気相成膜)が実際の生産ラインで使用 […]