2016/06/16 / 最終更新日時 : 2016/06/16 ALD_Japan 未分類 Siベース太陽電池の新技術 – PERC シリコンベース太陽電池用の新技術 PERC (Passivated Emitter Rear Contact)でALDによるAl2O3 の裏面パッシベーション成膜が利用されています。 産総研のDr. Supawan JO […]