2019/12/17 / 最終更新日時 : 2019/12/17 ALD_Japan 半導体 セミコンジャパン2019 12月11日〜13日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。新規な内容があまり目につくことのないというのが正直な感想ですが、ALDに関して目についたことを記載します。 バルブに関してSwagelok社より大容量タイ […]
2019/12/02 / 最終更新日時 : 2019/12/02 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と応用」 東京大学大学院の霜垣先生がALDを中心にCVDとALEに関するセミナーを行います。 日時: 2020年1月21日(火曜) 10:30〜16:30 場所: ちよだプラットフォームスクウェア 地下1F ミーティングルーム00 […]