2015/02/27 / 最終更新日時 : 2015/02/27 ALD_Japan 未分類 ALDは高額な技術なのか? 現状この技術=装置と材料は高額なものです。過去簡易な装置でさえ1台3千万円を超えることもありました。だいぶ安くなってきましたが、まだまだのようです。 ですが、状況か変わりつつあります。 元々は半導体デバイスの成膜に開発さ […]