2018/03/22 / 最終更新日時 : 2021/02/09 ALD_Japan Know-How メタルALD 熱式ALDでPtやRuが成膜できることはよく知られておりますが、他のメタル成膜も可能です。Anric Technologies社では以下のような材料も成膜可能です。Anric Technologies社以外の装置でも可能 […]
2018/03/13 / 最終更新日時 : 2018/03/13 ALD_Japan 未分類 Kurt Lesker社のALD用特許 Kurt J. Lesker社が特許を取得したとの発表がありました。特許番号:9,695,510 キャリアガス(N2またはAr)を天板の端から投入し続けることで、天板の中心部から投入されたプリカーサーが周辺に回り込まない […]
2018/03/06 / 最終更新日時 : 2018/03/06 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。 日時: 2018年3月30日(金曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・大田区蒲田 大田区産業プラザ(PiO) 6F C会議室 講師: 東京大 […]