2015/06/23 / 最終更新日時 : 2015/06/23 ALD_Japan 未分類 ALD2015 の見どころ ポスターセッションでの発表は記載しませんでしたが、Previewとして口頭発表の議題を材料やアプリケーションなどから列挙してみました。なぜ「?』マークだらけのこんな作業をしたかというと、ALDの代表的な酸化膜や金属膜はも […]
2015/06/22 / 最終更新日時 : 2015/06/22 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その4 7月1日(3日目) 成膜材料 アプリケーション 備考 ——— ——————̵ […]
2015/06/22 / 最終更新日時 : 2015/06/22 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その3 6月30日(2日目) 成膜材料 アプリケーション 備考 ——— ——————R […]
2015/06/18 / 最終更新日時 : 2015/06/18 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その2 ALD2015のスケジュールは以下のサイトで確認できます。試しにタイトルだけから把握できるところで、材料とアプリケーションを軸に羅列し直してみました。(リアルタイム観察やシュミレーションの発表とポスター発表は除きます。) […]
2015/06/12 / 最終更新日時 : 2015/06/12 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その1 今回のALD2015国際学会で興味深そうな案件(主観です!)を列挙しておこうと思います。 ALE Workshop、つまりAtomic Layer Etchingという原子層をエッチング(除去)する技術の専門部会が設けら […]