2015/12/22 / 最終更新日時 : 2015/12/22 ALD_Japan 未分類 SEMICON ジャパン2015 – ALD関連情報 ① CKD:高温用・高耐久ガスバルブ、AGD21R-Aシリーズ、150-200℃対応、3000万回開閉使用に堪えられるバルブ ② キッツエスシーティー:同じく高温・高耐久ガスバルブを開発品の発表。 ③ 大成技研: ALD […]