2015/04/30 / 最終更新日時 : 2015/04/30 ALD_Japan 未分類 6月28日から国際学会「ALD2015」開催 毎年恒例のALD技術を討議する国際学会「ALD2015」が6月28日から7月1日の間、米国オレゴン州のポートランドで開催されます。 今年は原子レベルのレイヤーをエッチングする技術、ALE (Atomic Layer Et […]
2015/04/24 / 最終更新日時 : 2015/04/24 ALD_Japan 未分類 Spacial ALD (空間的ALD) – コスト低減化へ 前回からの続きで、低コスト化への解としてSpacial ALD と呼ばれる新たな潮流の技術について解説します。(Picosun社が半導体ベースの装置を改良して、ロール2ロール型の装置も改良しておりますが、それよりもっと低 […]