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2021年5月

2021/05/25 / 最終更新日時 : 2021/06/05 ALD_Japan セミナー

シンポジウム紹介「粉体ALDと電池材料」

CVD反応分科会主催にて、粉体ALDとその応用で注目されているLiイオン電池分野などに関してオンラインシンポジウムが6月8日(火)に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム9:25~9:30 開会挨拶9 […]

2021/05/25 / 最終更新日時 : 2021/05/25 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE

ALD/ALE 2021 バーチャルミーテング

今年もバーチャルになりましたが、6月27日から開催されるALD/ALE2021のテクニカルプログラム(英語)が公開されました。

最近の投稿

2022/06/21 / 最終更新日時 : 2022/06/21 ALD_Japan 未分類

アプライドマテリアルズ社のPicosun社買収

米国の大手半導体装置メーカーApplied Materials社がフィンランドのALDの老舗装置メーカーPicon社を買収したそうです。日本のKOKUSAI社の買収が拒絶された後ですが、なかなかのダイナミックな動きですね。さすがです。

カテゴリー
未分類
2022/06/14 / 最終更新日時 : 2022/06/14 ALD_Japan 半導体

ALDによる強誘電体メモリー

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生が東京大学の小林正治先生と共に強誘電体メモリーを開発している研究が記事になっております。
https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2206/13/news044.html#utm_medium=email&utm_source=ee-elemb&utm_campaign=20220614

強誘電体HfZrO2も酸化物半導体In2O3もALDで成膜されております。

カテゴリー
半導体、研究者
タグ
強誘電体
2022/06/01 / 最終更新日時 : 2022/06/01 ALD_Japan プリカーサー

シンポジウム紹介「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」

CVD反応分科会(弊社もメンバー)主催にて、次世代パワーデバイス用ワイドバンドギャップ新材料開発の進展に関してオンラインシンポジウムを7月1日(金曜)に開催されます。ALD的には窒化ガリウムや酸化ガリウム用のプリカーサーが高純度化学研究所様より発表されます。詳細案内はこちらにて。

カテゴリー
プリカーサー、半導体、研究者
2022/05/23 / 最終更新日時 : 2022/05/23 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALD)の最新技術動向

大阪大学 大学院工学研究科 教授 浜口 智志 氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年6月6日(月曜) 10:30〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B220606.html

カテゴリー
ALE、セミナー、研究者
2022/05/18 / 最終更新日時 : 2022/05/18 ALD_Japan 半導体

BENEQ社

フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をしておりましたが、昨年日本法人を設立されました。先日行われた「レンズ・製造展」(OPIE ’22展併設)に出展しており、特筆すべきは世界最大のチャンバーとなる型式 P1500です。基板を搭載する空間が1300 x 2400 x 750mm、(チャンバーの横幅 1700mm)、装置のサイズは6195 x 2480 x 2600mmです。(大きいですね!)おそらく巨大な望遠鏡などに使用するレンズへの成膜に使うと思われます。サイトを見る限り、対象アプリケーションは光学薄膜、ディスプレイ、化合物半導体のようです。

日本法人の連絡先が英語表記で少し分かりにくいので、電話番号だけ記しておきます。TEL:045-285-9438

カテゴリー
半導体、太陽電池、装置メーカー
2022/05/11 / 最終更新日時 : 2022/05/11 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年5月20日(金曜) 10:30〜16:30

ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用
カテゴリー
ALE、セミナー、研究者
2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How

産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD

産業技術総合研究所(ナノプロセッシング施設=NPF)が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合計4台での成膜が可能となりました。ご興味のある方は以下にコンタクトしてみて下さい。

https://ssl.open-innovation.jp/npf/

befd65029b4496c6e76c1e3244b3c10bダウンロード
カテゴリー
Know-How、その他、半導体
2022/03/30 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan セミナー

セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。

日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00

場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町  6F H室

講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏

https://www.science-t.com/seminar/A220331.html

カテゴリー
セミナー、半導体、研究者
2022/03/01 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 半導体

サムコ社ナノ薄膜開発センター

かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティングなど新たな分野にも参入されるようです。詳細はこちらを。フィンランドのPicosun社などの後追いながら、CVDやエッチングの製造ノウハウを持つ中堅国内メーカーの積極的な展開は日本のユーザーには喜ばれるものと思われます。

カテゴリー
半導体、装置メーカー
2022/01/05 / 最終更新日時 : 2022/01/05 ALD_Japan 半導体

ALD装置のマーケットリポート(英語版)

QY Research社からALD装置のマーケットリポートが出版されているので、報告させて頂きます。ASM社、東京エレクトロン社、アプライドマテリアルズ社、LAMリサーチ社などの半導体産業で有名な装置メーカー、太陽電池パネル用量産機で実績のあるNCD社(韓国)、Leadmicro社(中国)、粉体ALDのForgeNano(米国)なども記載されております。(ただし企業向けリポートなので、お高い。。。)ご興味のある方は下記で確認して見て下さい。

https://www.qyresearch.co.jp/reports/159288/atomic-layer-deposition-equipment-%2528ald%2529
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半導体、太陽電池、粉体ALD、装置メーカー

最近の投稿

アプライドマテリアルズ社のPicosun社買収

2022/06/21

ALDによる強誘電体メモリー

2022/06/14

シンポジウム紹介「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」

2022/06/01

ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALD)の最新技術動向

2022/05/23

BENEQ社

2022/05/18

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

2022/05/11

産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD

2022/03/31

セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

2022/03/30

サムコ社ナノ薄膜開発センター

2022/03/01

ALD装置のマーケットリポート(英語版)

2022/01/05

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