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2022年5月

2022/05/23 / 最終更新日時 : 2022/05/23 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALD)の最新技術動向

大阪大学 大学院工学研究科 教授 浜口 智志 氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。 日時: 2022年6月6日(月曜) 10:30〜16:30 https://www.science-t.com/ […]

2022/05/18 / 最終更新日時 : 2022/05/18 ALD_Japan 半導体

BENEQ社

フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をして […]

2022/05/11 / 最終更新日時 : 2022/05/11 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。 日時: 2022年5月20日(金曜) 10:30〜16:30

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2022/05/23 / 最終更新日時 : 2022/05/23 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALD)の最新技術動向

大阪大学 大学院工学研究科 教授 浜口 智志 氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年6月6日(月曜) 10:30〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B220606.html

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ALE、セミナー、研究者
2022/05/18 / 最終更新日時 : 2022/05/18 ALD_Japan 半導体

BENEQ社

フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をしておりましたが、昨年日本法人を設立されました。先日行われた「レンズ・製造展」(OPIE ’22展併設)に出展しており、特筆すべきは世界最大のチャンバーとなる型式 P1500です。基板を搭載する空間が1300 x 2400 x 750mm、(チャンバーの横幅 1700mm)、装置のサイズは6195 x 2480 x 2600mmです。(大きいですね!)おそらく巨大な望遠鏡などに使用するレンズへの成膜に使うと思われます。サイトを見る限り、対象アプリケーションは光学薄膜、ディスプレイ、化合物半導体のようです。

日本法人の連絡先が英語表記で少し分かりにくいので、電話番号だけ記しておきます。TEL:045-285-9438

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半導体、太陽電池、装置メーカー
2022/05/11 / 最終更新日時 : 2022/05/11 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年5月20日(金曜) 10:30〜16:30

ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用
カテゴリー
ALE、セミナー、研究者
2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How

産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD

産業技術総合研究所(ナノプロセッシング施設=NPF)が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合計4台での成膜が可能となりました。ご興味のある方は以下にコンタクトしてみて下さい。

https://ssl.open-innovation.jp/npf/

befd65029b4496c6e76c1e3244b3c10bダウンロード
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Know-How、その他、半導体
2022/03/30 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan セミナー

セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。

日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00

場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町  6F H室

講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏

https://www.science-t.com/seminar/A220331.html

カテゴリー
セミナー、半導体、研究者
2022/03/01 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 半導体

サムコ社ナノ薄膜開発センター

かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティングなど新たな分野にも参入されるようです。詳細はこちらを。フィンランドのPicosun社などの後追いながら、CVDやエッチングの製造ノウハウを持つ中堅国内メーカーの積極的な展開は日本のユーザーには喜ばれるものと思われます。

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半導体、装置メーカー
2022/01/05 / 最終更新日時 : 2022/01/05 ALD_Japan 半導体

ALD装置のマーケットリポート(英語版)

QY Research社からALD装置のマーケットリポートが出版されているので、報告させて頂きます。ASM社、東京エレクトロン社、アプライドマテリアルズ社、LAMリサーチ社などの半導体産業で有名な装置メーカー、太陽電池パネル用量産機で実績のあるNCD社(韓国)、Leadmicro社(中国)、粉体ALDのForgeNano(米国)なども記載されております。(ただし企業向けリポートなので、お高い。。。)ご興味のある方は下記で確認して見て下さい。

https://www.qyresearch.co.jp/reports/159288/atomic-layer-deposition-equipment-%2528ald%2529
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半導体、太陽電池、粉体ALD、装置メーカー
2021/11/26 / 最終更新日時 : 2021/11/26 ALD_Japan セミナー

ウェビナー紹介「原子層堆積(ALD)法による薄膜作製技術の基礎と応用・技術トレンド」

北海道大学電子科学研究所の松尾先生がALDに関するLive配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2021年12月10日(金曜) 13:00〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B211210.html
カテゴリー
セミナー、研究者
2021/10/28 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan セミナー

オンラインシンポジウム紹介「原子層堆積技術(ALD)による成膜技術」

産業技術総合研究所 TIA推進センター ナノプロセシング施設主催にて、ALD技術全般に関してオンラインシンポジウムが12月22日(水)に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。

プログラム
12:55~13:00 はじめに 多田哲也氏(産業技術総合研究所)
13:00~13:30 「ALDで絶縁膜を形成したMOSFETについて -III-V族系を中心として- 」後藤高寛氏
13:30-13:50 「Super high-dielectric constant Al2O3/TiO2 nanolaminates deposited by the atomic layer deposition technique」劉江偉氏(Jiangwei LIU)(物質・材料研究機構)
13:50-14:00 「NIMS微細加工共用施設とALD装置のご紹介」津谷大樹氏(物質・材料研究機構 微細加工プラットフォーム)
14:00-14:30 「ALD-酸化チタンを正極材料に用いた結晶シリコン太陽電池の開発」松井卓矢氏(産業技術総合研究所ゼロエミッション国際共同研究センター)
14:30-15:00 「Atomic Layer Deposition (ALD) overview and Introduction of Process Variety」伊藤昌平氏(オックスフォードインスツルメント)
15:00-15:10 「NPFのALD成膜事例と関連する評価・分析技術の紹介」有本宏氏(産業技術総合研究所ナノプロセシング施設NPF)
15:10-15:20  休憩
15:20-15:50「サーマルALD量産プロセスの最適化」佐藤博氏(PICOSUN JAPAN) 
15:50-16:00 「北海道大学の成膜設備(ALD、PLD、スパッタ)紹介」松尾保孝氏(北海道大学電子科学研究所ナノテク連携推進室) 
16:00-16:30 「独自のALD材料を用いた成膜プロセスのご紹介」西田章浩氏(株式会社ADEKA) 
16:30-17:00 「半導体製造用ALD原料に関する研究開発」徐永華氏(トリケミカル研究所)
17:00-17:30 「高純度オゾンを用いた低温ALDバッチプロセスの開発」亀田直人氏(明電ナノプロセス・イノベーション) 

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セミナー、プリカーサー、半導体、太陽電池、研究者、装置メーカー
2021/08/27 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALE)の最新技術動向」

ALE学会でもご活躍の大阪大学浜口先生がセミナーを行います。

日時: 2021年8月30日(月曜) 10:30〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B210830.html

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ALE、セミナー、半導体

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