2014/10/16 / 最終更新日時 : 2014/10/16 ALD_Japan 未分類 ALDで本当にサンドイッチ構造のレイヤーが形成されるのか? 答えは、そうであり、そうでもなく。 つまりきちんとレイヤーができるところと、そうでないところがあり、混合です。
2014/10/10 / 最終更新日時 : 2014/10/10 ALD_Japan 未分類 日本でALD技術が広まらなかった理由とは?(その2) 懇意にしている先生より、このサイトに関する意見を頂戴しました。以下意訳です。 日本でのALD普及が進まなかった理由として、PVDやCVDと異なりALDは非常に検討することが多く、アプリケーションの要求に合わせて開発しなけ […]