2022/10/11 / 最終更新日時 : 2022/11/09 ALD_Japan ALE ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。 日時: 2022年10月17日(金曜) 10:00〜16:00
2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How 産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD 産業技術総合研究所(ナノプロセッシング施設=NPF)が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合 […]
2020/10/21 / 最終更新日時 : 2020/10/21 ALD_Japan Know-How 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生 10月20日行われた浦岡先生のウェビナーを受講しました。他の成膜技術との比較、ALDの歴史から用途、特に半導体や太陽電池などの具体的な概説が分かりやすいものでした。有償セミナーでしたので詳細は割愛しますが、一つだけご紹介 […]
2018/03/22 / 最終更新日時 : 2021/02/09 ALD_Japan Know-How メタルALD 熱式ALDでPtやRuが成膜できることはよく知られておりますが、他のメタル成膜も可能です。Anric Technologies社では以下のような材料も成膜可能です。Anric Technologies社以外の装置でも可能 […]