2017/06/27 / 最終更新日時 : 2017/06/27 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALDプロセス(原子層堆積法)による薄膜合成」 日時: 2017年7月11日(火曜) 12:30〜16:30 場所:大田区産業プラザ(PiO)6階C会議室(最寄駅:京急蒲田駅) 講師: 山形大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学) 廣瀬 文彦 先生 http:// […]
2017/06/23 / 最終更新日時 : 2017/06/23 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)、ALE(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向」 東京大学霜垣先生よりご案内がございました。 日時: 2017年6月26日(月曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・新宿文化センター 4F 第1会議室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 […]
2017/06/09 / 最終更新日時 : 2017/06/09 ALD_Japan 未分類 分子膜成膜装置 – MLD SmartSensing2017展(2017年6月7日〜9日、@東京ビッグサイト)で、 SPPテクノロジーズ社が分子膜成膜装置”MVDシリーズ”を紹介されました。 http://www.spp-technologies. […]
2017/06/02 / 最終更新日時 : 2017/07/15 ALD_Japan 未分類 ALD2017 プログラム (作成途中です) 土曜の夜のポスターセッション ALEポスターセッション *SiNの超高選択比で方向性を調整可能な擬似的ALE(水素プラズマ/HF) *ガスクラスターイオン放射(GCIB)を使ったALE(兵庫大学の豊田紀 […]