2017/09/21 / 最終更新日時 : 2017/09/21 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「原子層堆積法(ALD)の原理,反応機構と製膜技術」 日時: 2017年9月25日(火曜) 10:00〜17:00 場所:五反田・技術情報協会セミナールーム 講師: 霜垣先生(東大),廣瀬先生(山形大),座間氏(アルバック) http://www.gijutu.co.jp/ […]
2017/09/20 / 最終更新日時 : 2017/09/21 ALD_Japan 未分類 国内ALD装置メーカーについて 日本の装置メーカーによるALDの取り組みは、東京エレクトロンさん、日立国際さんやASMさんの開発部隊の方のような世界的なプレーヤーが牽引してきましたが、先端半導体のような情報は表に出てこないため、見えづらいものがあったか […]