2019/04/03 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ASD2019プログラム(翻訳) 2019年4月4日から5日までのASD2019のプログラムを翻訳しました。ASD = Area Selective Deposition = エリア選択成膜のことで、主にALD技術を利用して、特定エリア(下地)にのみ膜を […]