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2019年8月

2019/08/30 / 最終更新日時 : 2019/08/30 ALD_Japan セミナー

シンポジウム紹介「アトミックレイヤープロセスの最新動向」

応用物理学会秋季学術講演会の中で、ALDやALEに関するシンポジウムが開催されます。(弊社もスポンサーをさせて頂きます。) 日時: 2019年9月20日(金曜) 13:30〜18:00 場所: 北海道大学 N304 プロ […]

2019/08/07 / 最終更新日時 : 2019/08/08 ALD_Japan セミナー

セミナー紹介「ALDプロセスの基礎と応用展開 〜ALD用原料開発と最新情報」

気相成長社の町田氏がALDプロセス、ALD基礎と原料開発に関するセミナーを行います。 日時: 2019年9月6日(金曜) 12:30〜16:30 場所: [神奈川・川崎]川崎市産業振興会館 10階第4会議室 講師: 気相 […]

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2022/12/14 / 最終更新日時 : 2022/12/14 ALD_Japan セミナー

技術セミナー紹介「ALD(原子層堆積)による成膜技術」

産業技術総合研究所様と北海道大学様が主催にて、ALD技術のオンラインセミナーが12月22日(木曜)12:55~17:20に開催されます。詳細案内はこちらにて。

カテゴリー
セミナー、プリカーサー、装置メーカー
2022/12/06 / 最終更新日時 : 2022/12/14 ALD_Japan セミナー

シンポジウム(講習会)紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」

CVD反応分科会(弊社もメンバー)主催にて、CVDやALDのプロセスに関してオンラインシンポジウムを12月9日(金曜)に開催されます。詳細案内はこちらにて。

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セミナー、研究者
2022/11/29 / 最終更新日時 : 2022/11/29 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の教授浦岡行治氏がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年12月6日(火曜) 10:00〜16:00

ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用
カテゴリー
ALE、セミナー、研究者
2022/11/09 / 最終更新日時 : 2022/11/09 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALE(アトミックレイヤーエッチング)技術の基本原理と最新動向、今後の展望」

日立製作所の篠田 和典氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年11月11日(金曜) 13:00〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B221111.html

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ALE、セミナー
2022/10/11 / 最終更新日時 : 2022/11/09 ALD_Japan ALE

ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年10月17日(金曜) 10:00〜16:00

ALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用
カテゴリー
ALE、Know-How、セミナー、研究者
2022/09/16 / 最終更新日時 : 2022/09/16 ALD_Japan セミナー

 ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年9月26日(月曜) 10:00〜17:00
https://www.science-t.com/seminar/A220926.html

カテゴリー
セミナー、研究者
2022/08/18 / 最終更新日時 : 2022/08/18 ALD_Japan セミナー

 ウェビナー紹介 「今注目のALD(原子層堆積法)およびALD(原子層エッチング)の基礎と応用」

奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。

日時: 2022年9月2日(金曜) 10:30〜16:30

https://www.science-t.com/seminar/B220902.html

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セミナー、半導体、太陽電池、研究者
2022/07/21 / 最終更新日時 : 2022/07/22 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE

Dr. Mikko Ritala

先日開催されたALD/ALE2022にて、2020年のInnovation Awardを受賞されたMikko Ritala先生の写真です。受賞記念のスピーチで先生は学生時代にこのALD技術に魅せられて、ハマってしまったと受賞して壇上でお話されていたのが印象的でした。ご所属がUniversity of Helsinkiとフィンランドで、フィンランドでのALDの基礎を引っ張られたことと思いますが、日本のメーカーとの共同開発も過去には実施したようです。様々なプリカーサー原材料の開発もされて、今後もこの分野に大きく御貢献されていくと思います。写真では分かりにくいですが、とても背が高い方です。

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ALD 国際学会 ALE、ALE、研究者
2022/07/05 / 最終更新日時 : 2022/07/21 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE

ALD/ALE2022 まとめ

先週6月26日から6月29日までベルギーのGhentで行われたALD2022に参加してきました。簡単にまとめを記載しておこうと思います。

1)オンラインはなくリアルでの開催でした。参加登録人数は750人以上。(内訳:アジア:142人(21%)、オーストラリア:1人、ヨーロッパ:401人(58%)、米国:143人(21%)データ元は最終日のClosing Remarkで発表された数字)

日本からはデバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの人が散見されましたが、常連の大学の先生方がコロナ下で参加を見送られたせいか少なかったようです。大阪大学の浜口先生がALEのComitteeメンバーとして司会されていたのは心強かったです。

2)半導体では、相変わらずArea Selective Depositionの話が多く、期待の高さが伺われた。(ただ基調講演でも、実際に使われるのか?という質問が出て、製造への利用は未知でもある印象も残りました。)また2次元材料も次世代デバイス技術へとしての期待からか、発表数は例年より多かったと思います。

3)注目技術: Spacial ALDをノズルの先端に取り付けた3次元プリンターの発表が大いに注目されていました。ALTANTA 3D nanosystems社です。実際CEOの方はCommittee メンバーにも既に入り、司会進行もされておりました。

4)その他としては、 MLDとALDを融合したハイブリッドな成膜の発表も増えておりました。またInfiltration(浸潤)で有機材の表面にプリカーサーが染み込むことを利用した表面改質の発表も増えておりました。粉体用ALDの発表はかなり減っていた印象です。

5)来年の米国開催は通常として、2年後はフィンランドに決まったそうです。本来ならヨーロッパ開催の2年後はアジアのはずなのですが、残念です。

なお、基調講演以外は4つのセクションに分かれるため、全てを聴講をすることは不可能で、上記はかなり偏りのある見方です。

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ALD 国際学会 ALE
2022/06/21 / 最終更新日時 : 2022/06/21 ALD_Japan 未分類

アプライドマテリアルズ社のPicosun社買収

米国の大手半導体装置メーカーApplied Materials社がフィンランドのALDの老舗装置メーカーPicon社を買収したそうです。日本のKOKUSAI社の買収が拒絶された後ですが、なかなかのダイナミックな動きですね。さすがです。

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Dr. Mikko Ritala

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ALD/ALE2022 まとめ

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アプライドマテリアルズ社のPicosun社買収

2022/06/21

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