2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How 産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD 産業技術総合研究所(ナノプロセッシング施設=NPF)が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合 […]
2022/03/30 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。 日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00 場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町 6F H室 講師 […]
2022/03/01 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 半導体 サムコ社ナノ薄膜開発センター かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティン […]