2020/11/17 / 最終更新日時 : 2020/12/03 ALD_Japan ALE シンポジウム紹介「選択製膜の基礎と応用」 CVD反応分科会主催にて、最近ALDの分野(特に半導体)でも注目を浴びる選択成膜のシンポジウムが開かれます。(間際の連絡ですみません。)お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム13:00~13:05 開会挨拶13:0 […]
2019/05/08 / 最終更新日時 : 2019/05/10 ALD_Japan MLD Early history of MLD developments in Japan MLD (Molecular Layer Deposition) is one of the unique ALD technologies. Some researchers use this technique, f […]
2019/05/08 / 最終更新日時 : 2019/05/10 ALD_Japan MLD MLDの初期開発について MLD = Molecular Layer Deposition (分子層堆積技術)というAtom原子ではないですが、ポリマーを積層させる技術がいくつかの応用分野で注目を浴びていると思っています。最近流行りのASD(Ar […]