2019/02/28 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。 日時: 2019年3月29日(金曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第4講習室 講師: […]
2019/02/13 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー ウェビナー(Webセミナー)紹介(英語)「Area Selective Thin Film Deposition」 American Vacuum Society (通称AVS)がエリア選択性ALD = Area Selective ALDに関してネットを使ったショートコースセミナーを開催されます。CVDも含めてです。半導体応用へは疑 […]
2019/02/07 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ドライエッチング:ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御/ 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング」 日立製作所社やラムリサーチ社でご活躍されていた野尻様がAtomic Layer Etchingも含めたドライエッチングに関するセミナーを2日間行います。 日時: 2019年3月14日(木曜) 13:00〜16:30 20 […]
2019/02/01 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 半導体 物質・材料研究機構のALD研究 nanotech2019展にて弊社のお客様である塚越先生と生田目先生よりALDを使ったDRAMキャパシタや強誘電体製造プロセスの資料を頂きました。掲載致します。Al2O3, TiO2, RuO2, ZrO2, HfO2, […]