ALDは高額な技術なのか？

現状この技術=装置と材料は高額なものです。過去簡易な装置でさえ1台3千万円を超えることもありました。だいぶ安くなってきましたが、まだまだのようです。

ですが、状況か変わりつつあります。
元々は半導体デバイスの成膜に開発されたため、真空チャンバーとその周辺技術をベースとしてきたため、生産技術としては高額です。
しかし今ロール2ロールで処理するフィルム用ALDの開発が進んでおり、真空技術も不要にすることを考えている開発者も出てきています。(或いは既に製品化されているかもしれません。) 従来タイプのALDを基板が固定された状態での成膜のプロセスが時間的変化して行くのに対して、安価なタイプのALDはSpacial ALD = 空間的ALD との呼ばれており、この技術に期待が集まっています。

次回はこのSpacial ALD について解説します。