ALD用分析装置 – Hiden Analytical (英)

英国 Hiden Analytical 社がALD用の分析機器として以下のような提案をしております。

１）残留ガス分析　HMT
２）プラズマALDの反応（イオン、ニュートラル、ラジカル）解析　EQP
３）組成、コンタミ、拡散、界面　AutoSIMS
４）真空プロセスでのガス分析　HPR-30^ALD

日本代理店：　イノベーションサインス株式会社

3）のSIMSが５千万円という値段はかなり安いように思います。