Dr. Erwin Kessels
アイントホーフェン工科大学（オランダ）の教授。今までのプラズマALD、ALE、エリア選択ALDで、太陽電池やナノパターンを研究されてきておられます。それが評価されてALD2019ではInnovation Awardを受賞されました。この先生はプロセス及びプリカーサーの開発の世界的開発動向を一つのサイトをまとめており、今回ご紹介する次第です。この周期表を見ればどんな材料がALDで成膜できるのか、最新の動向も含めて、ご理解頂けると思います。なるべく世界中の研究開発者にアップデートのお願いもしておりましたので、日本の研究者にもご協力頂けると幸いでございます。
AtomicLimits.com
