JVST A 2019 Best ALD Paper
2019年10月に発表されたのですが、芝浦工業大学の前田瑛里香氏(清野肇研究室、共同研究機関:物質・・材料研究機構)が Journal of Vacuum Science & Technologyの昨年のベストペーパーに選ばれました。日本勢の活躍が少ないので、とても嬉しく思います。
著者:Erika Maeda1,2,a), Toshihide Nabatame, Masafumi Hirose, Mari Inoue, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, and Hajime Kiyono