2016年1月28日  下記の講演発表がありました。

① Picosun社 300mm ウエハー用量産機、クラスターツール(反応室が5ユニットなど付き、その中心ニ搬送ロボットがウエハーを各室へ運ぶ又は取り出す装置群のこと)の実績を強調。

② delft IMP社  ALDやMLDを使用したナノ構造粉末(パーティクル)製造技術のコンサルティングサービスの提供。特筆すべきは、大気圧でのN2流路にナノパーティクルやプリカーサーを流して成膜させることが可能。計算上プリカーサーの使用効率は100%なるよう工夫している。