シンポジウム紹介「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」

CVD反応分科会(弊社もメンバー)主催にて、次世代パワーデバイス用ワイドバンドギャップ新材料開発の進展に関してオンラインシンポジウムを7月1日(金曜)に開催されます。ALD的には窒化ガリウムや酸化ガリウム用のプリカーサーが高純度化学研究所様より発表されます。詳細案内はこちらにて。