2020/02/10 / 最終更新日時 : 2020/02/10 ALD_Japan 粉体ALD Forge Nano社とALD NanoSolutions社の合併 先週2月7日粉体用ALD装置を製造販売する米国の2つの会社が合併するという発表を行いました。https://www.forgenano.com/news/forge-nano-and-ald-nanosolutions- […]
2019/12/17 / 最終更新日時 : 2019/12/17 ALD_Japan 半導体 セミコンジャパン2019 12月11日〜13日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。新規な内容があまり目につくことのないというのが正直な感想ですが、ALDに関して目についたことを記載します。 バルブに関してSwagelok社より大容量タイ […]
2019/01/19 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー クリエイティブコーティングス社 インターネプコン展(1月16日〜18日、東京ビッグサイト)で、クリエイティブコーティングス社が低温プラズマALD装置の実機展示をしておりました。用途はPETボトルや医療用容器などで、チャンバーサイズが目視でも40cm3ほ […]
2019/01/19 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー Oxford社とアルバック社 インターネプコン展(1月16日〜18日、東京ビッグサイト)で、Ulvac社が英国Oxford Instruments社のALDとALE装置の営業を開始したとの公表をしておりました。詳細ニュースはこちらから。
2018/12/10 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー 常温成膜技術 明電舎 明電舎 常温成膜技術 ピュアオゾン 2018年12月5から7日に開催された高機能フィルム展にて、明電舎様がオゾンとエチレンガス(C2H4))を利用した30℃のプロセス(CVD-SiO2とALD-Al2O3)を提案されてお […]