2019/04/03 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ASD2019プログラム(翻訳) 2019年4月4日から5日までのASD2019のプログラムを翻訳しました。ASD = Area Selective Deposition = エリア選択成膜のことで、主にALD技術を利用して、特定エリア(下地)にのみ膜を […]
2019/01/22 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ASD2019 ASD = Area Selective Deposition 直訳:選択的成膜の WorkshopがIMECで開催されます。日時: 2019年4月4日と5日場所:IMEC (ベルギーのLeuven) 主に先端半導体の研 […]
2018/07/29 / 最終更新日時 : 2018/07/29 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2018 の投稿比率(国別) 本日2018年7月29日にTutorialからALD2018国際学会が始まりました。 配布されているプログラム予稿集に今回の発表者の内訳が出ていたので、転記します。 韓国:126 米国:106 中国(台湾含む):44 日 […]
2018/04/21 / 最終更新日時 : 2020/03/19 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ASD18 Area Selective Deposition Workshop (ASD2018) が米国サウスカロライナ大学で4月29日より5月1日まで開催されます。 先端半導体のリソグラフィーでの機械的精度の問題を超える技術と […]
2018/04/21 / 最終更新日時 : 2018/07/28 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD/ALE2018 プログラム 国際学会 ALD/ALE2018 韓国仁川、2018年7月29日から8月1日 のプログラムが発表されました。 https://ald2018.avs.org/schedule/ 口頭発表の訳 (完了しております。誤字脱字 […]
2017/01/24 / 最終更新日時 : 2017/01/24 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2017国際学会 今年もALD2017国際学会(ALEのワークショップを併設)が米国コロラド州デンバーにて、7月15日から18日まで開催されます。 ペーパーの締め切りが2月17日とのこと。 今年日本企業では東京エレクトロン様がALEの方で […]
2016/07/22 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2016 プログラム – 用途と材料による分類 国際学会ALD2016のプログラムを用途と材料をピックアップしてみたいと思います。原題の翻訳となっているところも多々あります。あくまでALDの多様性を見るためのものですから、詳細の理解に不具合を含むことご承知おき下さい。 […]