2022/06/14 / 最終更新日時 : 2022/06/14 ALD_Japan 半導体 ALDによる強誘電体メモリー 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生が東京大学の小林正治先生と共に強誘電体メモリーを開発している研究が記事になっております。https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2206 […]