2022/08/18 / 最終更新日時 : 2022/08/18 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介 「今注目のALD(原子層堆積法）およびALD(原子層エッチング)の基礎と応用」 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー（Zoom）を行います。 日時: 2022年9月2日(金曜) 10:30〜16:30 https://www.science-t.com/se […]
2022/06/14 / 最終更新日時 : 2022/06/14 ALD_Japan 半導体 ALDによる強誘電体メモリー 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生が東京大学の小林正治先生と共に強誘電体メモリーを開発している研究が記事になっております。https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2206 […]
2022/06/01 / 最終更新日時 : 2022/06/01 ALD_Japan プリカーサー シンポジウム紹介「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」 CVD反応分科会（弊社もメンバー）主催にて、次世代パワーデバイス用ワイドバンドギャップ新材料開発の進展に関してオンラインシンポジウムを7月1日（金曜）に開催されます。ALD的には窒化ガリウムや酸化ガリウム用のプリカーサー […]
2022/05/18 / 最終更新日時 : 2022/05/18 ALD_Japan 半導体 BENEQ社 フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をして […]
2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How 産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD 産業技術総合研究所（ナノプロセッシング施設＝NPF）が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合 […]
2022/03/30 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ＡＬＤ（原子層堆積法）の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。 日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00 場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町 6F H室 講師 […]
2022/03/01 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 半導体 サムコ社ナノ薄膜開発センター かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティン […]
2022/01/05 / 最終更新日時 : 2022/01/05 ALD_Japan 半導体 ALD装置のマーケットリポート（英語版） QY Research社からALD装置のマーケットリポートが出版されているので、報告させて頂きます。ASM社、東京エレクトロン社、アプライドマテリアルズ社、LAMリサーチ社などの半導体産業で有名な装置メーカー、太陽電池パ […]
2021/10/28 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan セミナー オンラインシンポジウム紹介「原子層堆積技術（ALD）による成膜技術」 産業技術総合研究所 TIA推進センター ナノプロセシング施設主催にて、ALD技術全般に関してオンラインシンポジウムが12月22日（水）に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム12:55～13:00 は […]
2021/08/27 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan ALE ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング（ALE）の最新技術動向」 ALE学会でもご活躍の大阪大学浜口先生がセミナーを行います。 日時: 2021年8月30日(月曜) 10:30〜16:30 https://www.science-t.com/seminar/B210830.html
