2023/08/25 / 最終更新日時 : 2023/08/25 ALD_Japan セミナー オンデマンド配信の紹介「ＡＬＤ（原子層堆積法）技術の基礎・入門と応用展開」 奈良先端科学技術大学院大学の教授浦岡行治氏がALDに関するセミナーがオンデマンドで聴講出来ます。 期限: 2023年10月30日（月曜）まで https://www.science-t.com/seminar/O2307 […]
2023/06/23 / 最終更新日時 : 2023/06/23 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ＡＬＤ（原子層堆積法）技術の基礎・入門と応用展開」 奈良先端科学技術大学院大学の教授浦岡行治氏がALDに関するライブ配信セミナー（Zoom）を行います。 日時: 2023年6月28日(水曜) 10:00〜16:00 https://www.science-t.com/se […]
2023/06/20 / 最終更新日時 : 2023/06/20 ALD_Japan 半導体 ALDを使用した先端半導体デバイス向けナノシート酸化物半導体トランジスタの開発 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生と東京大学生産技術研究所の小林正治先生によりIn2O3とGa2O3を原子層堆積したマルチレイヤーで良好な酸化物半導体を見つけられたとのことです。これは先端デバイスでのGate Al […]
2023/05/31 / 最終更新日時 : 2023/05/31 ALD_Japan 半導体 ASM社の韓国への投資$100M オランダの半導体向けALD装置などのメーカーASM社が韓国へ100Mドル（約140億円）を2025年までに投資するとのこと。敷地を2.5倍（製造エリアは3倍）に拡張し、人員も現在の450名から大きく増やす方向とのこと。韓 […]
2022/08/18 / 最終更新日時 : 2022/08/18 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介 「今注目のALD(原子層堆積法）およびALD(原子層エッチング)の基礎と応用」 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー（Zoom）を行います。 日時: 2022年9月2日(金曜) 10:30〜16:30 https://www.science-t.com/se […]
2022/06/21 / 最終更新日時 : 2023/05/31 ALD_Japan 半導体 アプライドマテリアルズ社のPicosun社買収 米国の大手半導体装置メーカーApplied Materials社がフィンランドのALDの老舗装置メーカーPicon社を買収したそうです。日本のKOKUSAI社の買収が拒絶された後ですが、なかなかのダイナミックな動きですね […]
2022/06/14 / 最終更新日時 : 2022/06/14 ALD_Japan 半導体 ALDによる強誘電体メモリー 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生が東京大学の小林正治先生と共に強誘電体メモリーを開発している研究が記事になっております。https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2206 […]
2022/06/01 / 最終更新日時 : 2022/06/01 ALD_Japan プリカーサー シンポジウム紹介「ワイドバンドギャップ新材料の開拓」 CVD反応分科会（弊社もメンバー）主催にて、次世代パワーデバイス用ワイドバンドギャップ新材料開発の進展に関してオンラインシンポジウムを7月1日（金曜）に開催されます。ALD的には窒化ガリウムや酸化ガリウム用のプリカーサー […]
2022/05/18 / 最終更新日時 : 2022/05/18 ALD_Japan 半導体 BENEQ社 フィンランドにあるALD装置メーカーBENEQ社について、少し説明しようと思います。フィンランドは元々ALD技術の発見に起代する場所です。ALDのメーカーとしては、比較的長い歴史を持ちます。以前は商社がここの代理店をして […]
2022/03/31 / 最終更新日時 : 2022/03/31 ALD_Japan Know-How 産総研 ナノプロセッシング施設 新規導入ALD 産業技術総合研究所（ナノプロセッシング施設＝NPF）が新規にOxford社のALDを導入しました。① in-situ XPS付き、高濃度オゾンラインあり ②窒化膜専用, insitu分光エリプソメーター付き の2台で、合 […]
