2022/03/30 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。 日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00 場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町 6F H室 講師 […]
2022/03/01 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 半導体 サムコ社ナノ薄膜開発センター かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティン […]
2022/01/05 / 最終更新日時 : 2022/01/05 ALD_Japan 半導体 ALD装置のマーケットリポート(英語版) QY Research社からALD装置のマーケットリポートが出版されているので、報告させて頂きます。ASM社、東京エレクトロン社、アプライドマテリアルズ社、LAMリサーチ社などの半導体産業で有名な装置メーカー、太陽電池パ […]
2021/10/28 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan セミナー オンラインシンポジウム紹介「原子層堆積技術(ALD)による成膜技術」 産業技術総合研究所 TIA推進センター ナノプロセシング施設主催にて、ALD技術全般に関してオンラインシンポジウムが12月22日(水)に開催されます。お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム12:55~13:00 は […]
2021/08/27 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan ALE ウェビナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALE)の最新技術動向」 ALE学会でもご活躍の大阪大学浜口先生がセミナーを行います。 日時: 2021年8月30日(月曜) 10:30〜16:30 https://www.science-t.com/seminar/B210830.html
2021/07/21 / 最終更新日時 : 2021/07/21 ALD_Japan 半導体 シンポジウム紹介「選択成長にむけたALD/ALE技術」 CVD反応分科会主催にて、半導体分野で注目を浴びていているエリア選択性ALDとALEに関してオンラインシンポジウムが8月4日(水曜)に開催されます。(Zoom)お申し込みはこちらをご覧下さい。 12:30 &n […]
2021/06/11 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan 半導体 HfO2を使った強誘電体メモリー HfO2とZrO2をマルチレイヤーで積層して、アニール処理することで作成すると10nmを切っても強誘電体の性能を維持することがドイツの研究者が発見。公開後に世界的に研究がされているこの強誘電体メモリーで、東京大学(高木信 […]
2020/11/17 / 最終更新日時 : 2020/12/03 ALD_Japan ALE シンポジウム紹介「選択製膜の基礎と応用」 CVD反応分科会主催にて、最近ALDの分野(特に半導体)でも注目を浴びる選択成膜のシンポジウムが開かれます。(間際の連絡ですみません。)お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム13:00~13:05 開会挨拶13:0 […]
2020/10/21 / 最終更新日時 : 2020/10/21 ALD_Japan Know-How 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生 10月20日行われた浦岡先生のウェビナーを受講しました。他の成膜技術との比較、ALDの歴史から用途、特に半導体や太陽電池などの具体的な概説が分かりやすいものでした。有償セミナーでしたので詳細は割愛しますが、一つだけご紹介 […]
2020/09/16 / 最終更新日時 : 2021/02/09 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と応用 -薄膜形成の原理から、最新の応用展開の状況まで -」 東京大学大学院の霜垣先生がALDに関する配信セミナー(配信のみ)を行います。 日時: 2020年10月9日(金曜) 10:30〜16:30 講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏