2019/01/19 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー Oxford社とアルバック社 インターネプコン展(1月16日〜18日、東京ビッグサイト)で、Ulvac社が英国Oxford Instruments社のALDとALE装置の営業を開始したとの公表をしておりました。詳細ニュースはこちらから。
2019/01/08 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALDプロセスの基礎と応用展開~ALD用原料開発と最新情報~」 気相成長社の町田氏がALDプロセス、ALD用原料開発に関するセミナーを行います。 日時: 2019年1月18日(金曜) 12:30〜16:30 場所: 東京・御茶ノ水 中央大学駿河台記念館 5階560号室 講師: 気相成 […]
2018/12/18 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan その他 セミコンジャパン2018 12月12日〜14日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。ALDに関して新規性のあることを記載します。 1)Picosum 社メディカル用途にB-300B PicoMEDICALtm と B-1000 PicoM […]
2018/12/10 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー 常温成膜技術 明電舎 明電舎 常温成膜技術 ピュアオゾン 2018年12月5から7日に開催された高機能フィルム展にて、明電舎様がオゾンとエチレンガス(C2H4))を利用した30℃のプロセス(CVD-SiO2とALD-Al2O3)を提案されてお […]
2018/11/01 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)、ALEt(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向」 東京大学霜垣先生がALDとALEに関する基礎、応用、最新動向までのセミナーを行います。 日時: 2018年11月26日(木曜) 10:00〜16:30 場所: 江東区産業会館 第1会議室 講師: 東京大学 大学院工学系研 […]
2018/10/16 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー シンポジウム紹介「流動層の基礎とCVD/ALDによる粉体材料の機能化」 反応工業会 反応工学部会 CVD反応分科会が主催で、ALDの技術も含めた粉体コーティングのシンポジウムが開催されます。 日時: 2018年11月9日(月曜) 13:00〜17:45 場所: 東京工業大学 キャンパスイノベ […]
2018/10/05 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan その他 ALD海外動向のサイト ALDに関して、世界の動向を様々に伝えているJonas Sundqvist氏と知り合いになりました。 BALD Engineering というサイトで、日本からも最近はアクセス数が増えているようです。 http://ww […]
2018/09/25 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan セミナー 講習会紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」 反応工学部会CVD反応分科会が主催されるCVDとALDの講習会が開催されます。 日時: 2018年10月31日(水曜) 10:00〜18:00 場所: 東京大学 本郷キャンパス武田先端知ビル5F 武田ホール 講師 ①京都 […]
2018/09/20 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 太陽電池 太陽電池へのALDの使用例 名古屋大学の黒川康良先生より論文を2つ頂きました。 ① MRS ナノワイヤーを使った太陽電池のご研究で、ナノワイヤーをALDのTiO2とAl2O3で被覆させております。MRS_Advances_掲載版 ② WC […]
2018/09/13 / 最終更新日時 : 2018/09/13 ALD_Japan セミナー 講習会の紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」 反応工学部会CVD反応分科会が主催されるCVD/ALDの講習会が開催されます。 日時: 2018年10月31日(水曜) 10:00〜18:00 場所: 東京大学 本郷キャンパス武田先端知ビル5F武田ホール タイトル:「C […]