2014/10/16 / 最終更新日時 : 2014/10/16 ALD_Japan 未分類 ALDで本当にサンドイッチ構造のレイヤーが形成されるのか? 答えは、そうであり、そうでもなく。 つまりきちんとレイヤーができるところと、そうでないところがあり、混合です。
2014/10/10 / 最終更新日時 : 2014/10/10 ALD_Japan 未分類 日本でALD技術が広まらなかった理由とは?(その2) 懇意にしている先生より、このサイトに関する意見を頂戴しました。以下意訳です。 日本でのALD普及が進まなかった理由として、PVDやCVDと異なりALDは非常に検討することが多く、アプリケーションの要求に合わせて開発しなけ […]
2014/09/04 / 最終更新日時 : 2014/09/04 ALD_Japan 未分類 日本でALD技術が広まらなかった理由とは? 個人的な見解をいくつか挙げると、以下のようなことになるでしょうか。。。 1)PVDやCVDの技術を追い込みすぎて、1974年にフィンランドのSuntolaさんが製品化したこのALDに日本人研究者がついていかなかった?? […]
2014/09/02 / 最終更新日時 : 2016/05/19 ALD_Japan 未分類 日本における代表的なALD 研究者 このALD技術の基本原理を研究している先生と言えば、東京大学の霜垣幸浩先生がまず第一。(先生のサイトは見つからず。)CVD反応分科会の代表でもあり、国際学会のALD2014のco-chair(共同代表)もされた。ALDの […]
2014/04/22 / 最終更新日時 : 2014/04/22 ALD_Japan 未分類 はじめに。 半導体や液晶などの製膜技術として、PVD (Physical Vapor Deposition, 物理的気相成膜)やCVD (Chemical Vapor Deposition, 化学的気相成膜)が実際の生産ラインで使用 […]