2016/12/01 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「プラズマダメージとアトミックレイヤーエッチング(ALE)」 日時: 2016年1月18日(水曜) 13:00〜16:30 場所: 東京・千代田区駿河台 連合会館 5F 502会議室 講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏 http://www.science […]
2016/10/31 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「真空中での原子層成長」 タイトル:「真空中での原子層成長:ALD技術の最近の進捗」 日時:2016年12月14日(水曜)13:00 – 17:00 場所: 機械振興会館 地下2階B2-1号室 東京都港区芝公園3-5-8 主催: 日本 […]
2016/09/06 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」 6月に続き、再びドライエッチング技術のセミナー講演で、ALE = Atomic Layer Etchingが解説されます。 日時: 2016年10月5日(水曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅり […]