2021/07/12 / 最終更新日時 : 2022/03/01 ALD_Japan 研究者 ウェビナー紹介「人工光合成の国内外の最新動向と実用化への課題・展望」 弊社販売のAT-410のユーザーでもある産業技術総合研究所の佐山先生が人口光合成に関する配信セミナー(Zoom)を行います。なおALDを使った研究内容はまだ盛り込まれないと思われます。 日時: 2021年7月28日(水曜 […]
2021/06/11 / 最終更新日時 : 2022/03/30 ALD_Japan 半導体 HfO2を使った強誘電体メモリー HfO2とZrO2をマルチレイヤーで積層して、アニール処理することで作成すると10nmを切っても強誘電体の性能を維持することがドイツの研究者が発見。公開後に世界的に研究がされているこの強誘電体メモリーで、東京大学(高木信 […]
2021/04/01 / 最終更新日時 : 2021/04/01 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)技術の基礎と応用」 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDに関する配信セミナー(Zoom)を行います。 日時: 2021年4月16日(金曜) 13:30〜17:30
2021/03/02 / 最終更新日時 : 2021/04/01 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 東京大学大学院の霜垣先生がALDに関する配信セミナー(配信のみ)を行います。 日時: 2021年3月29日(月曜) 10:00〜17:00 講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏 ht […]
2021/02/09 / 最終更新日時 : 2021/04/01 ALD_Japan セミナー ウェビナー紹介「ALD(原子層堆積)技術の基礎と最新動向」 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡先生がALDに関する配信セミナー(配信のみ、Zoom)を行います。 日時: 2021年2月26日(金曜) 10:30〜16:30 講師: 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教 […]
2020/12/09 / 最終更新日時 : 2020/12/09 ALD_Japan セミナー オンライン講習会紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」 弊社も会員になっているCVD反応分科会主催にて、CVDとALDの講習会が12月14日月曜にオンラインで開かれます。(間際の連絡で誠にすみません。)お申し込みはこちらをご覧下さい。 プログラム09:30~09:35 開会挨 […]
2020/10/24 / 最終更新日時 : 2020/11/06 ALD_Japan ALE 書籍紹介「初めての半導体エッチング技術」 本日10月24日に技術評論社より改訂版『初めての半導体エッチング技術』が発売されました。私が勝手に尊敬している野尻一男氏とお話して感じるのは、丁寧な口調の中に厳しさも匂わせた方です。先端半導体の話は中々表に(特に最近の日 […]
2020/10/21 / 最終更新日時 : 2020/10/21 ALD_Japan Know-How 奈良先端科学技術大学院大学の浦岡行治先生 10月20日行われた浦岡先生のウェビナーを受講しました。他の成膜技術との比較、ALDの歴史から用途、特に半導体や太陽電池などの具体的な概説が分かりやすいものでした。有償セミナーでしたので詳細は割愛しますが、一つだけご紹介 […]
2020/07/08 / 最終更新日時 : 2020/07/08 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE JVST A 2019 Best ALD Paper 2019年10月に発表されたのですが、芝浦工業大学の前田瑛里香氏(清野肇研究室、共同研究機関:物質・・材料研究機構)が Journal of Vacuum Science & Technologyの昨年のベストペ […]
2019/07/30 / 最終更新日時 : 2019/07/30 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE Dr. Erwin Kessels アイントホーフェン工科大学(オランダ)の教授。今までのプラズマALD、ALE、エリア選択ALDで、太陽電池やナノパターンを研究されてきておられます。それが評価されてALD2019ではInnovation Awardを受賞 […]